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產品詳情
  • 產品名稱:OTSUKA大冢-嵌入式膜厚監(jiān)視器

  • 產品型號:
  • 產品廠商:OTSUKA大塚電子
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簡單介紹:
OTSUKA大冢-嵌入式膜厚監(jiān)視器 OTSUKA大冢-嵌入式膜厚監(jiān)視器 高精度地實現(xiàn)具有波長依存性的多層膜測量!
詳情介紹:

OTSUKA大冢-嵌入式膜厚監(jiān)視器

特長

分光干擾法的膜厚計

高精度FFT膜厚解析引擎(**第4303847號)

可以通過有機纖維構筑自由的測量系統(tǒng)

可以組裝各種制造設備

可以進行實時的膜厚測量

對應遠程操作和多點測量

采用長壽命、高穩(wěn)定性的白色LED光源



測量項目

多層膜厚解析



用途:

光學膠卷(硬盤、AR膠片、ITO等)

FPD相關(注冊、固態(tài)、SiO2等)


単一ポイントタイプ

裝置構成 単一ポイント

  • 半導體ウェハの面內分布測定
  • ガラス基板の面內分布測定

 

多ポイントタイプ

裝置構成 多ポイント

  • リアルタイム計測
  • 流れ方向の品質管理
  • 真空チャンパーにも対応

 

トラバースタイプ

裝置構成 トラバース

  • リアルタイム計測
  • 幅方向の品質管理

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